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陶少华; 陈培锋; 丘军林;
华中理工大学激光技术国家重点实验室;
衍射光学元件; 设计制作; 利用计算机; 激光技术; 相位分布; 光致抗蚀剂; 衍射效率; 计算机辅助; 光束整形; 国家重点实验室;
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