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颜东; 高钟毓; 姚雅红;
清华大学;
Rayleigh方法; 有限元方法; 特征频率; 微机械硅陀螺谐振器;
机译:硅微陀螺仪驱动模式下的机械热噪声
机译:偏振相关损耗的石英平面光波电路中单片集成谐振器微陀螺仪偏振波动引起的噪声的分析及对策
机译:基于硅微镜的用于陀螺仪的微光学谐振器的组装
机译:利用硅光子微环谐振器的蛋白质脂质和蛋白质膜蛋白质相互作用的多重分析
机译:硅微陀螺驱动模式下的机械热噪声
机译:用于空间科学和行星探测的微机械硅基分析微仪器
机译:微半球谐振器陀螺仪结构,装配方法和晶圆夹具
机译:惯性微传感器,例如加速度传感器或陀螺仪是通过使与玻璃基板粘合的厚硅层变薄,形成传感器结构并蚀刻玻璃以在结构下方形成真空空间来生产的
机译:根据晶体的几何形状,沿着晶体平面切割具有由晶体材料加工而成的平面整体振动结构的陀螺仪机械谐振器,从而产生自然的材料频率各向同性
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