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微陀螺仪特征频率分析及结构参数优化

     

摘要

应用Coventorware软件系统模型的方法对一种振动板式微陀螺仪进行了特征频率分析和结构参数优化,研究了静电压对特征频率的影响.并用有限元分析方法进行了验证,比较了两种方法的差别.

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