高温超导YBa_2Cu_3O_7薄膜的颗粒、杂相生长机制研究

摘要

ＹＢａ２Ｃｕ３Ｏ７（ＹＢＣＯ）高温超导薄膜是重要的超导电子器件应用的材料，它们的质量对器件的运行性能至关重要。薄膜表面的颗粒使表面微波性能变坏，但有些生长在ＹＢＣＯ薄膜基体内部的小颗粒，会使薄膜的临界电流密度升高。我们运用透射电子显微镜（ＴＥＭ），扫描隧道显微镜（ＳＴＭ），原子力显微镜（ＡＦＭ）研究了脉冲激光淀积（ＰＬＤ）和磁控溅射制备的ＹＢＣＯ薄膜的生长机制以及其颗粒、杂相的生长机制。