SEM/EDS快速检测分散在预涂层中的纳米SiO2

摘要

本文利用扫描电子显微镜与能谱仪结合(SEM/EDS),通过改变加速电压和光阑直径,成功地检测到分散在预涂层中直径约100 nm的SiO2颗粒。实验结果表明:光阑直径大小对纳米颗粒能谱分析空间分辨力的影响大于加速电压,当加速电压为5 kV,光阑直径为20μm时得到的检测结果最为合理。