蒙特卡罗法模拟电子表面弹性碰撞

摘要

用蒙特卡罗法模拟电子在固体表面的弹性碰撞过程,得到电子的弹性反射系数η_E及弹性背散射电子的角分布。给出η_E与电子非弹性平均自由程(IMFP)λ的函数关系,用η_E的实验值推算出λ。与文献报道的λ实验值及Seah,Penn等经验公式计算的λ值相比,发现本文计算的λ与实验值符合较好。