溶胶-凝胶法CeO2薄膜的制备及AFM研究

摘要

溶胶-凝胶法(sol-gel)是将金属有机物或无机化合物经过溶液、溶胶、凝胶而固化，再经过热处理形成氧化物或化合物固体的方法。溶胶-凝胶法具有工艺设备简单、易操作、成本低廉、化学成分可控及可在400℃～600℃的相对低温下制备高纯、小孔径(约为几个nm)无机陶瓷膜等优点，近20年来已发展成为制备陶瓷薄膜材料最有效的方法之一。