无铅压电陶瓷研发中的电子探针分析

摘要

目前压电陶瓷是实现机械能与电能相互转换的功能材料，是一类重要的电子材料。其应用范围从蜂鸣器、滤波器、点火器和超声清洗器，到牵引式阵列声纳、医用图像系统、喷墨印刷头、照相机快门、定位器和传感器等。多层压电致动器技术已在汽车的大量应用上得到了验证，例如燃料注入系统和悬置系统。特别是在一些能承受相对高的成本的应用领域。这方面的应用包括磁记录定位头、扫描隧道显微镜、条码记录器，用于反馈刹车系统的传感器，用于激光印刷机的上色传感器以及超声骨头愈合器。压电陶瓷有一些特殊的生物医学用途。例如，压电单晶可用于未来的超声图像系统。在压电陶瓷领域中，长期以来由锆钛酸铅（PZT）占主导地位。PZT基陶瓷的主要成分是PbO，PbO是一种有毒物质，在烧结温度下具有挥发性，对人体、环境造成危害。为避免铅的污染，人们认识到无铅压电陶瓷的必要性，提出研究无铅压电陶瓷。