金属表面微纳米光滑构造的新方法

摘要

传统的曝光技术等平面工艺通常只能获得边缘陡峭的平面结构.通过多层曝光、灰度曝光、聚焦离子束加工等方法可以实现高度渐变的准三维结构的构造,却往往难以获得良好的光滑度.本文结合电子束曝光技术、PMMA结构平滑技术、模板剥离技术,实现了多种多样的渐变结构的构造.这种技术具有构造方法简单、表面粗糙度小、可自由定位等众多优点.