以氩气为粗漏示踪气体的积累氦质谱组合检测方法

摘要

介绍了积累氦质谱检漏仪的出现和积累氦质谱组合检测方法的提出,分析了现行美国军用标准采用的以氦气为粗漏细漏示踪气体组合检测方法的局限性,介绍了改进这种方法的发明专利,指出改进后在适用严密等级THemin和内腔容积V范围方面的局限性.论述了以氩气为粗漏示踪气体、以氦气为细漏示踪气体的积累氦质谱组合检测方法的优越性,给出了设计这种专利方法的逻辑思路和理论公式,指出这种方法对需要检测的THemin和V范围,具有良好的适用性,并且提出了改进积累氦质谱检漏仪的要求.