用Lloyd干涉测量薄膜的厚度和折射率

摘要

将样品分别放在Lloyd干涉装置的两个不同位置进行薄膜厚度和折射率的测量是一种简单易行的方法.这种方法与其它方法的区别在于只需通过分析干涉条纹就能确定薄膜的厚度和折射率,这就避免了测量能量的误差,消除光源不稳定和外界对光强的影响.通过对两种不同厚度聚合物薄膜样品的测量,证实了这种方法是有效的,厚度测量误差为2 %,折射率的误差为±0.002.