共焦法布里-珀罗干涉仪灵敏度和稳定性研究

摘要

共焦法布里－珀罗干涉仪（Confocal Fabry-Perot Interferometer, CFPI）是用光学方法探 测固体表面超声振动的解调器件，它的灵敏度和稳定性决定了整个系统的灵敏度和稳定性．通 过使用干涉仪的共轭输出光，使系统探测超声振动的灵敏度可提高至少２倍；同时详细给出通 过干涉环来粗调干涉仪的共焦点，并提出使用单片机（ＭＣＳ－５１）反馈控制系统来稳定最佳工作 点的方法．利用该系统实现了对铝样品表面压电超声振动的检测，得到了较好的实验结果．