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改善AMR薄膜磁电阻传感器线性度的几种方法

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摘要

在分析金属薄膜磁电阻传感器非线性产生原因的基础上,提出了几种设计AMR(各向异性磁电阻)薄膜磁电阻传感器时改善其线性度的方法.用直流磁控溅射方法制备了Ni80Fe20和Ni65Co35AMR薄膜材料;用微加工工艺制做出了几种AMR传感器元件,并给出了测试结果.

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来源
《工程科学学报》 |2006年第8期|744-749|共6页
作者
王立锦;
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作者单位

北京科技大学材料科学与工程学院;

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正文语种 chi
中图分类 O484.42;TM271.2;
关键词
金属薄膜; 各向异性磁电阻效应; 传感器; 线性度; 微加工;

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