金属离子注入的背散射分析

摘要

本文阐明用背散射进行物质分析的原理和实验方法。用1MeV的~4He离子对钛合金注入銦离子的背散射谱进行了分析研究,证实离子注入有可能成为提高材料耐磨性的一种新方法。