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氧离子束辅助激光淀积生长ZnO/Si的XPS研究

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利用X射线光电子能谱深度剖析方法对ZnO/Si异质结构进行了分析 .用该法可生长出正化学比的ZnO ,不过生长的ZnO薄膜存在孔隙 ,工艺还有待进一步改进 .

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来源
《北京师范大学学报：自然科学版》|2001年第2期|174-179|共6页
作者
李庚伟; 吴正龙; 杨锡震; 杨少延; 张建辉; 刘志凯;
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作者单位

北京师范大学分析测试中心;

中国科学院半导体材料科学实验室;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类薄膜的生长、结构和外延;
关键词
ZnO/Si异质结构; X射线光电子能谱; 氧离子束辅助; 薄膜; 激光器;
入库时间 2022-08-20 14:43:23

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