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Se低能中性团簇束流淀积

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利用低能中性团簇束淀积技术（ＬＥＣＢＤ）首次制备了Ｓｅ团簇薄膜，发现其生长方式与传统的蒸发方法有明显的不同。原位电子束辐照观察到明显的晶化现象。

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来源
《原子与分子物理学报》 |1998年第s1期|P.265-266|共2页
作者
陈平平; 季亚林; 缪炳友; 王广厚;
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作者单位

南京大学固体微结构国家重点实验室;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类薄膜的生长、结构和外延;
关键词
Se LECBD 薄膜生长;

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