小型磁偏转质谱计性能实验研究

摘要

自主研发了小型磁偏转质谱计,并对其质量范围、分辨本领、灵敏度和最小可检分压力四个主要性能指标进行了实验测试和比对.结果表明,该质谱计的质量范围为(1～143)amu,相对N2的分辨本领为1400,灵敏度为4.2×10-5A/Pa,最小可检分压力为9.5×10-7Pa.该测试和比对结果为磁偏转质谱计进一步的优化设计和性能提高奠定了重要基础.