制备温度对TiO2基膜表面非晶态ZnO薄膜发光特性影响的研究

摘要

利用电子束热蒸发镀膜的方式,以高纯度的ZnO和TiO2颗粒为原料,以Si为基底在有氧的气氛中制备ZnO/TiO2复合薄膜.研究制备温度对ZnO/TiO2薄膜的结构以及发光性能的影响.通过拉曼(Raman)谱和X射线衍射(XRD)谱分析了ZnO/TiO2薄膜的结构,表明所制备的ZnO薄膜为非晶态.用光致发光 (PL) 谱表征了它的发光特性,数据表明在250 ℃时制备的非晶态ZnO薄膜在波长389 nm处具有极强的紫外光发射,在波长431 nm处发出很强的紫光,在波长519 nm处发出较强的黄绿光.