面阵像元细分用于法布里珀罗标准具间隔测量

摘要

法布里珀罗(F-P)标准具间隔d的高准确度测量对干涉测量结果具有非常重要的影响.论文基于F-P干涉成像图片信息,结合峰位坐标局域细分原理和圆方程回归,尤其应用了一种新型的虚拟面阵像元细分和信号平滑化技术,准确地求出干涉图像各同心圆环直径Di,实现干涉级次整数部分k0和小数部分ε的准确计算,完成F-P间隔d的三波长小数重合法测定.实验对比分析了细分和非细分方式对测量结果的影响,测得细分方式下的d=(2 009.961 91±0.000 06)μm,d的不确定度粗估值(Uε/k0)=9.8×10-7.实验验证了像元细分方法的有效性,为提高间隔d的测量准确度提供了有效的途径和方法.