溶胶-凝胶法制备SiO2/TiO2多层膜工艺研究

杨帆; 沈军; 吴广明; 孙骐; 李小丽; 张志华; 付甜

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溶胶-凝胶法制备SiO2/TiO2多层膜工艺研究

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采用溶胶-凝胶工艺,使用旋涂方法在单晶硅片、石英玻璃和K9玻璃上制备SiO2/TiO2系列多层膜.采用椭偏仪、透射电镜等对所制得的多层膜的性能进行了研究.结果表明实验条件对SiO2/TiO2多层膜的制备非常重要.通过对实验条件的改善与优化,可以镀制出性能优良的SiO2/TiO2多层膜,以用于微型谐振腔、滤光片、一维光子晶体和传统的光学高反膜的研究.

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来源
《安阳师范学院学报》 |2003年第2期|31-34|共4页
作者
杨帆; 沈军; 吴广明; 孙骐; 李小丽; 张志华; 付甜;
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作者单位

同济大学,上海,20023;

同济大学,上海,20023;

同济大学,上海,20023;

同济大学,上海,20023;

同济大学,上海,20023;

同济大学,上海,20023;

同济大学,上海,20023;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类光学性质;
关键词
溶胶-凝胶工艺; 旋涂法; SiO2/TiO2多层膜;

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