传感器执行器及其材料和工艺

摘要

cqvip:第10届国际固态传感器和执行器会议(The 10th International Conference on Solid-State Sensors and Actuators)于1999年6月7日至10日在日本仙台市举行。会议就456篇文章进行了广泛的交流,其中邀请报告14篇,口头报告212篇,张贴报告244篇,新增文章14篇。与会者超过1000人,中国大陆有2人参加。1 传感器和执行器1.1微流量系统微流量系统仍是研究热点之一,文章数量较多。