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纳米粉体材料的制备收集和相应设备改造

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本文提供了一种真空溅射法生产纳米粉体的制造方法以及收集方法,该方法对普通溅射机稍加改造,即可完成纳米粉体制备,结构简单上马快,适应于中小量多品种研究单位使用.

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来源
《内燃机与配件》|2019年第12期|82-83|共2页
作者
李波;
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作者单位

山东省机械设计研究院,济南250031;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类
关键词
纳米粉体; 溅射; 自然沉降; 集尘瓶;
入库时间 2023-07-24 18:53:18

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