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陆天海; 费超; 徐大诚; 于海涛;
苏州大学微纳传感技术研究中心 江苏苏州 215006;
中国科学院上海微系统与信息技术研究所 传感技术国家重点实验室 上海 200050;
气敏材料; 微悬臂梁; 帕尔贴; 温控系统; 自校准电路; 模糊PID;
机译:氦离子注入对钛微悬臂梁残余应力梯度的室温控制
机译:微悬臂梁作为气相传感平台:聚合物涂层多孔硅过硅微悬臂梁的生产的简化和优化
机译:水吸附过程中表面应力对微悬臂梁共振频率的影响:微悬臂梁尺寸的影响
机译:共振微悬臂梁热力学焓定量评估优化H 2 inf> S纳米铜气敏材料
机译:先进的材料集成和加热的微悬臂梁和微悬臂梁阵列的热运行。
机译:纳米驱动ZnO微悬臂梁的制备与表征
机译:使用微悬臂梁传感器称重纤维蛋白(ogen)和凝块结合肽之间的生物相互作用
机译:用于原位地下表征的微悬臂梁传感器。 2006年ERsD年度报告
机译:光学微悬臂梁,其制造方法以及光学微悬臂梁支架
机译:光学微悬臂梁及其制造方法和光学微悬臂梁支架
机译:光学微悬臂梁,其制造方法以及光学微悬臂梁保持器
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