基于MSC的低量程SAW压力传感器研究

摘要

随着声表面波(SAW)传感器在低量程压力检测领域的应用,其测量精确度的要求随之提高.针对SAW传感器频率响应曲线旁瓣扰动过大和体声波(BAW)干扰的问题,研究设计了一种基于多条耦合器(MSC)的低量程SAW压力传感器.围绕SAW传感器设计原理,将输入输出叉指换能器(IDT)均采用余弦平方函数加权设计能有效减少频率响应的旁瓣扰动.根据声表面波传播原理,利用MSC的设计以过滤BAW干扰.通过对传感器的实验测试,表明了该传感器在实现低量程压力检测方面具有可行性.同时对于旁瓣和BAW的干扰具有一定抑制作用.