集成流体声发射传感器的设计

摘要

本文论述了一种新型流体声发射传感器的集成结构和设计原理，讨论了如何利用声能集中原理提高灵敏度和压电元件形状及边界条件对传感器频率响应的影响等理论问题，最后，对其距离传播特性进行了测试，用大量的实验验证了其实用性和可靠性。