蓝宝石光纤传感器中黑体腔形成工艺技术研究

摘要

光纤高温传感器是一种利用高温单晶光纤作光纤传感头进行辐射测温和控制的新型传感器.影响传感器工作性能的一个重要因素是传感头(即黑体腔)的镀制工艺.本文主要介绍了形成黑体腔所需要的镀层材料和镀膜方法.选择了氧化锆和氮化钛镀在蓝宝石光纤上,镀膜顺序是先镀一层氮化钛,然后再镀一层氧化锆.在对比了多种镀膜方法后,选择了真空蒸发镀膜法来镀氧化锆和氮化钛.