大面积多元PbS探测器均匀度研究

摘要

介绍了研制的大面积多元PbS红外探测器的各项技术指标，叙述了PbS膜的微区分析、PbS光敏膜的制备、PbS光敏图形的刻蚀等几个关键工艺技术的研究情况，说明了大面积多元PbS探测器的研制水平。