分块镜共相位误差的电学检测方法

摘要

实现各分块镜间的光学共相位拼接是合成孔径光学系统高分辨率成像的保证。对分块镜间的光学共相位误差的电学检测方法进行了理论分析和实验验证。利用电容测微原理对相邻分块镜间的光学共相位误差实现了测量,测量范围200μm,分辨率5nm。搭建了分块镜光学共相位误差电学检测实验装置,装置中设置了分块镜位置微调机构以实现相互间的光学共相位拼接;用Fisba移相干涉仪对搭建的实验装置的共相位误差检测及拼接结果进行了实验验证,结果表明了将电容测微法用于共相位误差检测的可行性。该方法不仅测量范围大、灵敏度高;且与光学检测方法相比,未增加光学系统的复杂性。