利用MATLAB进行焦平面探测器的In柱高度自动统计

摘要

In柱制备是红外焦平面器件倒焊互连的关键工艺,In柱高度是评价In柱制备工艺水平的基本指标。通常的In柱高度统计方法为随机采样人工显微镜观测法,此方法由于采样点较少将导致统计结果不全面,另一方面由于In柱表面形貌的微观特性,人工显微镜观测引入的主观偏差将使统计结果不准确。提出了一种更合理可行的In柱高度统计方法,首先使用激光共聚焦显微镜对In柱表面形貌进行扫描,再利用MATLAB软件对扫描数据进行分析以统计In柱高度,分析时考虑In柱表面微观形貌对In柱高度的影响。利用此方法对16×16面阵的红外焦平面器件读出电路进行了In柱高度统计,统计结果优于随机采样人工显微镜观测法。为评价In柱制备工艺水平提供了更客观准确的In柱高度数据。