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刘欢; 刘卫国; 周顺; 蔡长龙;
西安工业大学陕西省薄膜技术与光学检测重点实验室;
BCB; 测辐射热计阵列; ROIC; 平坦化; 等离子刻蚀;
机译:双材料悬臂焦平面阵列用于三明治框架结构的非制冷红外成像
机译:非制冷红外焦平面阵列CDS CMOS集成电路的理论分析与实验应用
机译:低噪声像素驱动电路的非制冷红外辐射焦平面阵列
机译:聚合物薄膜作为未冷却的红外焦平面阵列的平坦化和牺牲层
机译:用于连续偏置非冷却辐射热长波红外焦平面阵列的像素级CMOS读出电路设计。
机译:使用等离子增强高性能红外光谱的非制冷红外探测器的响应度
机译:具有气凝胶热隔离的非制冷薄膜红外成像装置:沉积和平坦化技术
机译:非制冷长波红外小像素焦平面阵列和系统挑战。
机译:用于形成平坦化的孔填充层的非抛光牺牲层回蚀平坦化方法
机译:用于半导体工业中的尺寸衬底的密封层的平坦化的方法,涉及抛光牺牲层和密封层的表面不规则性,其中牺牲层由材料形成
机译:在形成半导体晶片上表面的材料上生长牺牲平坦化层的方法,平坦化具有不均匀外形轮廓的晶片材料并且由具有不均匀外形轮廓的晶片材料组成的方法平面化要加工的晶片
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