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MEMS传感器标准质量评定方法探讨

         

摘要

随着MEMS技术的发展,MEMS传感器的应用越来越广泛,传感器领域的标准化工作思路和技术路线发生了变化.针对MEMS传感器特点,研究了标准质量评定方法,在电子元器件质量评定方法基础上,提出了我国MEMS传感器的质量评定控制建议.

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