PCMR体声波谐振器多物理场仿真及芯片制作

摘要

文章介绍了一种轮廓模式压电谐振器的工作原理,阐述了多物理场的概念并利用多物理场有限元分析方法分析了该谐振器的谐振过程,并利用多物理场原理对压电谐振器结构进行了仿真优化.多物理场仿真可以更加直观,深入的理解PCMR的工作原理和过程.不利用等效电路模型,所以可以准确的找到谐振器各组成部分对谐振器的影响.基于仿真的结果,分别设计了平板型(82.75MHz)和交指型(346.5MHz)轮廓模式谐振器并利用MEMS工艺对其进行了制作.制作的轮廓模式谐振器具有较高的Q值(800),机电耦合系数2％,测试结果和仿真结果基本的吻合.