Nd薄膜靶表面氧化过程研究

摘要

用Ａｕｇｅｒ电子能谱对Ｘ光激光实验使用的Ｎｄ薄膜靶的表面氧化进行了分析，结合Ａｒ离子束刻蚀进行元素的深度分布剖析，得到了表面氧化层厚度，所得结果与Ｒｕｔｈｅｒｆｏｒｄ背散方法测量的结果相吻合。