DF化学激光窗口低损耗增透膜

摘要

表述了DF激光波段应用CaF2 和硅窗口减反射膜系结果.分析了设计多层AR膜方法和给出用ZnSe/YbF3和ZnS/YbF3材料组合的双层和五层AR膜系.计算了各种膜系的理论性能.研究了膜层淀积工艺技术,对于CaF2和硅窗口,在DF激光波段实验透过率分别为99.54%和99.89%,镀AR膜 CaF2窗口能承受4.3kw/cm2的连续波DF激光辐射.