等离子体的三频点微波透射衰减诊断方法

摘要

依据微波在等离子体中的传播特性,并利用微波透射非磁化等离子体时在三个相邻频率点的透射能量衰减值,可同时诊断等离子体中的电子密度和电子碰撞频率.使用该方法对100～700 Pa范围内氦气辉光放电等离子体进行了诊断,选择6.2,6.8和7.4 GHz三个频率点,并与使用双探针诊断的诊断结果进行比较.结果表明:两种诊断方法所得碰撞频率基本一致;微波透射衰减法诊断出的电子密度值与探针法的诊断结果在同一数量级(1016 m-3),但前者约是后者的1.67倍.最后对造成这一差异的原因进行了分析.三频点微波透射衰减诊断方法可用于较高气压及其它静电探针使用受限的环境下,并且可以采用能量较小的微波,不会对等离子体本身造成显著影响,适用于等离子体的初步诊断.