微空心阴极放电的3维数值模拟

摘要

给出了圆筒形微空心阴极的3维流体方程组及其稳态的差分方程和合理的边界条件,并利用计算机模拟计算,得出了He放电形成的粒子密度、电子能量、电场及电势分布.讨论了在阴极孔径为240～360μm,气压6 666.1～13 332.2 Pa的范围内放电参量的变化规律:固定电压和气压时,阴极孔径减小,负辉区重合越多;固定阴极孔径和气压时,气压升高,带电粒子密度随着气压增加而增加.结果表明放电参量强烈依赖阴极孔径和气压.