飞秒激光烧蚀镍钛形状记忆合金的蚀除机理

摘要

结合双温模型的分子动力学模拟方法,研究了飞秒激光脉冲辐照B2结构镍钛合金时烧蚀阈值附近的靶材蚀除机制,数值模拟了中心波长为800 nm,脉宽为1 00 fs,能量密度为25～50 mJ/cm2的激光与90nm厚B2结构镍钛合金薄膜相互作用过程.确定了脉宽为100 fs的脉冲激光与镍钛形状记忆合金相互作用的烧蚀阈值,发现烧蚀阈值条件下,靶材的蚀除机制是单纯基于应力作用的机械破碎;烧蚀阈值附近,未蚀除靶材受热影响发生无序化相变的区域较小,且随激光能量密度的降低而减小.提高激光功率密度,烧蚀同时呈现热机械蚀除和机械破碎机制.