飞秒激光烧蚀CuZr非晶合金机理与烧蚀区结构分析

摘要

采用结合双温模型的分子动力学的方法,数值模拟了脉宽100 fs,能量密度为40~200 mJ/cm2的飞秒激光与CuZr非晶合金的相互作用过程.低能量密度下,靶材的烧蚀机制主要表现为机械破碎;高能量密度下,热机械蚀除和相爆炸共同存在于靶材的烧蚀过程,随着能量密度的增加,相爆炸成为主要蚀除机制.利用径向分布函数分析了CuZr非晶合金结构的无序性,分析结果表明,激光能量密度由80 mJ/cm2增加到120 mJ/cm2时,飞秒激光与靶材相互作用过程中,材料内部的原子保持着无序状态,材料未发生明显晶化.