硅微谐振加速度计的研究现状分析及发展趋势探讨

摘要

从当前的国际科技发展形势来看,硅微谐振加速度计是一种十分具有潜力的高精度的MEMS惯性仪表.同时又因为硅微谐振加速度计具有体积相对比较小,而且消耗的功率很低,并且它的准数字输出和精度提升的提升空间大等不同的有点.结合一段时间内国内外对于硅微谐振加速度计的研究报告,发现硅微谐振加速度计的发展前景在于对其结构改造、工艺改进以及技术测量等不同的方面.本文将在硅微谐振加速度计工作原理的基础上,对硅微谐振加速度计的发展现状做出分析以及对硅微谐振加速度计的发展前景展开展望.