密封性半导体分立器件内部气氛控制技术

摘要

本文从器件内部气氛的组成、国内行业普遍存在的问题和气氛控制技术几大方面，对器件内部气氛控制方法进行论述，寻求行之有效的方法，提高产品的可靠性。