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原子层沉积技术在光学薄膜制备中的应用综述

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摘要

光学薄膜技术在快速发展的同时,遇到了无法实现某些高性能薄膜等问题.原子层沉积技术具有良好的台阶能力、精确控制膜层厚度以及组分等优点,在光学与光电子薄膜领域具有广泛的应用潜力,正在从实验室走向工业界.

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来源
《黑龙江科技信息》|2018年第21期|191-192|共2页
作者
莫秋燕; 杨永亮;
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作者单位

凯里学院大数据工程学院,贵州凯里 556011;

凯里学院大数据工程学院,贵州凯里 556011;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类薄膜的性质;
关键词
原子层沉积技术; 光学薄膜; 应用;
入库时间 2023-07-24 15:20:30

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