一种基于MEMS反射镜显示系统的性能分析

摘要

本文对一种基于表面微加工技术反射镜的显示系统进行性能分析。显示系统由一个简单的两薄膜结构微镜所组成,该微镜采用表面微加工工艺,即多晶硅的多用途MEMS制造工艺。微镜具有四个静电排斥力驱动单元,微镜可通过该驱动单元进行平移运动,且可以围绕两个轴进行旋转运动。实测数据表明,微镜可在每个轴角实现±2.5的光学扫描。每个驱动单元在2000赫兹,0-200 V的正弦输入电压下操作,致动单元的稳定时间是2.75和3.32毫秒,超调量为阶跃输入为200至0 V和0至200 V的5%和48%。