在SiO_2-C-N_2体系中SiO_2还原氮化机理分析

摘要

本文研究了SiO_2还原氮化的物理化学条件,分析结果表明:在SiO_2—C—N_2体系中Sio_(2(g))既可以直接还原又可以间接还原生成SiO_((g));SiO_(2(g))碳热还原氯化生成Si_3N_4的反应受扩散控制,满足下列方程:1-(1-α)