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电子背散射衍射技术在材料显微分析中的应用

             

摘要

介绍了电子背散射衍射的原理、装置的构造、分析方法及其应用.电子背散射系统(EBSD)与能谱(EDS)和扫描电镜一起工作可同时分析试样特定微区的形貌、成分和取向.当电子束逐点扫描分析时,还可获得一种全新的图象即晶体取向分布图,从而获取微区的形貌、成分及成分的定量分布图.以纯铁为例,对该技术进行了验证.

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