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CVD金刚石自支撑膜的力学性能

             

摘要

CVD金刚石自支撑膜已经作为一种崭新的工程材料出现,其应用日益广泛,急切需要对其力学行为进行深入了解.为此对有关金刚石膜的断裂强度和断裂韧度的研究,以及金刚石膜的断裂机制进行了详尽的论述.简略介绍了金刚石膜的断裂强度和断裂韧度的测试方法,给出了典型的测试数据.最后就如何提高金刚石膜的力学性能和更好地应用这种新型工程材料提出了建议.

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