振动电极电化学放电加工技术试验研究

摘要

电化学放电加工(ECDM)是一种针对硬脆材料的特种微加工技术,在航天MEMS产品制造等领域有良好的应用前景.然而,常规ECDM孔加工深度不足,加工效率随深度增加而显著下降.为此,提出对ECDM的电极施加振动的加工方法.试验对比了不同工艺下的加工效率和精度.结果表明,电极的正弦振动可提高孔加工精度,方波振动可提高加工深度和速率.加工速率随振幅和频率的升高而升高.振动电极ECDM材料去除方式包括热辅助机械冲击、热辅助化学腐蚀以及热蚀.