超净高纯化学试剂开发前景佳

摘要

超净高纯化学试剂是超大规模集成电路（IC）制作不可少的关键性材料之一，主要用于芯片的清洗、刻蚀．以及掺杂和沉淀工艺等。超净高纯化学试剂纯度和洁净度对集成电路的成品率、电性能和可靠性的影响极大。超净高纯化学试剂品种多，按用途可主要分为光刻胶配套试剂、湿法工艺试剂及湿法蚀刻剂等。按产品性质可主要分为有机溶剂类、无机酸类、无机碱类及其他超净高纯化学试剂。超净高纯化学试剂的需求量大，且随着电子产业的快速发展，超净高纯化学试剂的需求量在不断增长，目前我国主要依靠进口．因此亟待加强开发生产，其前景很好。