晶体凸面外延生长演化过程的相场模拟

摘要

应用晶体相场法，模拟再现晶体凸面异质外延的生长过程。研究表明，当衬底倾角为5°错配度为0．05时，外延层并不是单一模式进行生长，外延层表面会存在断层现象；当衬底倾角为7°时，错配度较小时外延层以岛状模式生长，生长完成后，不产生位错；错配度较大时，外延层以岛状和层状相结合的模式生长，生长完成后产生位错。