薄膜电导测量仪的设计

摘要

针对目前化学镀实验中需要测量化学镀层的导电特性与镀层厚度,设计了一款高精度的薄膜电导测量仪.测量仪使用四针法测量电阻,能自动检测探头是否接触良好,包括一个精密多档恒流源和一个多档微信号放大器,操作简单方便,可准确地测量10μΩ～1Ω范围内的薄膜电阻.实验应用效果良好.