对高纯气体标准物质中微量或痕量杂质分析的要求

摘要

文章阐述了高纯气体产品质量监测的重要性并分析了影响高纯气体质量监测准确性的各种因素(掌握正确的取样技术;配备高气密性、不产生交叉污染的配气和测量装置:选择高灵敏度的监测方法:建立完善的质量保证体系.).